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      集成電路光刻工藝的尺寸是推動潔凈度要求向前發(fā)展的決定性因素。技術(shù)越進(jìn)步，尺寸就越小。如果落在集成電路上的粒子大于最小光刻尺寸的1%-2%，就會使集成電路成為廢品。金屬粒子、離子、細(xì)菌等都是產(chǎn)生廢品的元兇。空氣潔凈度的好壞直接影響集成電路生產(chǎn)的成品率。